EUV는 빛을 쏘아서 거울에 몇 번 반사시켜서 도달합니다. EUV를 도입하는 이유는 공간, 가격, 전력을 효율적으로 사용할 수 있기 때문에 도입하려고 합니다. 하지만 EUV 장비를 받기가 너무 어렵고, 기술이 너무 어렵고 돈이 너무 많이 든다고 합니다. 그래서 EUV를 다 사용할 수는 없고 기존 장비를 같이 써야 한다고 합니다. 그 어렵다는 EUV에 대해 알아봅시다.
(2023년 4월 29일 방송)
1. EUV
EUV는 빛이 흡수되려는 성질이 있어서 반사시킨다.
펠리클의 투과율을 높여야 한다.
2. EUV 관련 기업
3. 염블리와 함께 링크
(2023년 4월 29일 방송)
https://youtu.be/gEiXYA3OQaE?si=M62GDk6z4YF7ZR6A
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