염블리와 함께배우기 반도체 보너스3 - Low-K 밸류체인, 스택VS트렌치

반도체 기술이 미세화, 고도화됨에 따라 High-K를 많이 사용하게 되지만, Low-K도 사용돼야 하는 분야가 있습니다. Low-K 도 없어지지 않고 계속 사용되고 있으니 자세히 알아보도록 합시다.

(2023년 2월 18일 방송)

 

1. MOSFET

MOSFET - D램과 낸드 구조 차이

 

 

2. D램의 역사 

스택이 트렌치 방식을 이겼다.

D램의 역사 - 스택의 승리

 

 

3. Low-K

1) 금속배선, 전하가 다니는 통로 주변

Low-K

 High-K 가 ALD (원자층 증착) 방식을 사용하는데 반해 Low-K는 CVD(화학기상 증착)으로 입힌다.

 

2) 메탈 사이의 절연체

Low-K

메탈과 메탈은 만나면 안 되기 때문에 사이에 절연체로 Low-K를 사용한다.

 

3) 3D 낸드 적층

Low-K, 3D 낸드 적층

 

4. Low-K 밸류체인

Low-K 밸류체인

일본 Adeaka 가 세계 1위지만 한국 기업도 많이 발전했다.

소재 강국은 일본이지만 한국이 국산화를 많이 이루었다.

 

5. 염블리와 함께 링크

(2023년 2월 18일 방송)

https://youtu.be/UBGn06XsZJY?si=RSBob0IiJKO2927c