확산(디퓨전) 공정은 가스, 케미컬 등을 활용해 웨이퍼 표면에 다양한 종류의 막을 만드는 과정을 말합니다. 여기에 관련된 기업이 원익QNC, 유진테크, 아스플로, 엘오티베큠 등이 있습니다. 확산 공정용 쿼츠를 만드는 기업이 원익QNC이고, 유진테크는 증착 공정 관련 기업입니다. 아스플로는 가스 이송 관련 부품을 생산하고, 엘오티베큠은 건식진공펌프 생산업체입니다.
(2023년 9월 9일 방송)
1. 확산(디퓨전) 공정
1) 디퓨전(확산)
2) 막 증착
3) 디퓨전(확산) 장비
4) 막 - 산화공정
5) 증착 - CVD(화학 기상 증착)
가스를 주입해서 화학반응으로 웨이퍼 표면에 막을 증착함.
이 때 막을 생성하지 못한 반응부산물은 따로 배출함.
6) 증착 - LP-CVD(저압 증착)
7) 증착 - ALD(원자층 증착)
원자층 증착은 정밀하게 하나씩 증착
8) 증착 - ALD
ALD는 앞으로 대세
9) 막 VS 증착
막과 증착 모두 확산. 가스를 뿌려서 입히는 것은 똑같다.
막-퐁듀:소재가 밑으로 뚫고 들어감
증착-아파트:위로 쌓는 것
2. 확산공정 기업분석
1) 원익 QNC
쿼츠와 그 재료가 주력
2) 유진테크
미니배치 ALD
3) 아스플로
가스는 배관으로 이송
반도체 인프라 관련주 - 아스플로, 한양이엔지, 씨앤지하이테크: 반도체 공장을 많이 지으면 좋다.
(1) 주요 제품
①튜브/파이프 (28%)
② 피팅 (30%) - 이음새
③ 밸브/래귤레이터 (34%)
④ 필터 / 디퓨저 (2%)
(2) 투자 포인트
4) 엘오티베큠
3. 염블리와 함께 링크
(2023년 9월 9일 방송)
https://youtu.be/re3jdM6DN1c?si=E2GlJqcf7ogpzzUO
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